JOHN SCHNOBRICH / UNSPLASH

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Hochintegrierte supraleitende Nanostrukturen für Quantentechnologien

Für die Realisierung von integrierten supraleitenden Schaltungen mit
Strukturbreiten von weniger als 200 nm werden die Grundlagen aller
notwendigen Prozesse erarbeitet und zu einem abgestimmten Prozessablauf
mit einer standardisierten Gesamtfabrikation zusammengeführt. Die
einzelnen Verfahren wie Lithografie, Beschichtung und Strukturierung
werden dabei von Unternehmen mit einschlägigen Kompetenzen in enger
Abstimmung mit Forschungslaboren an spezialisieren Instituten erforscht.

Mit der Etablierung der grundlegenden Verfahren und der Zusammenführung
zu einem Standardfabrikationsprozess werden erstmalig Anlagen und
Prozesse zur Herstellung von integrierten supraleitenden Schaltungen
kommerziell zur Verfügung stehen, so dass Forschungslabore an
Universitäten und Unternehmen, ohne die Hürde der langjährigen
Prozessentwicklung in die Quantentechnologie einsteigen können. Damit
verbreitert sich die Basis dieser Technologieentwicklung enorm und
beschleunigt so die Realsierungen von Quantentechnologieanwendungen.

Projektkoordination: Prof Dr. Christian Enss

Direktschreibende Lithografie mit der MaskLess Aligner Technik. HEIDELBERG INSTRUMENTS MIKROTECHNIK GmbH